DB34/T 4099-2022 平板显示用剥离液精馏法再生利用技术要求

领域
本文件划定了平板显示用剥离液精馏法再生利用技术的原料、技术要求、传染节造要求和安全要求。。。。。。。
本文件合用于平板显示用溶剂系剥离液精馏法再生利用。。。。。。。

术语和界说
下列术语和界说合用于本文件。。。。。。。
剥离  stripping
使用溶液来剥除玻璃基板上光刻胶的工艺过程。。。。。。。
剥离液  stripper
用于剥离玻璃基板上光刻胶的溶液。。。。。。。
剥离液废液  waste stripping
剥离液使用至无法满足剥离要求时的拔除溶液。。。。。。。重要含有机溶剂、少量的光刻胶、水、金属离子杂质等。。。。。。。
再生利用  recycling
通过对废液进行处置，，，，，，，，将其中有价值的物料集中回收后，，，，，，，，成为可再利用的物料的过程，，，，，，，，不蕴含对能量的回收和利用。。。。。。。

原料
剥离液废液。。。。。。。

技术要求
根基要求
平板显示用剥离液精馏法再生利用有关的总安然插应满足 GB 50160，，，，，，，，化工容器设备应依照 HG/T 20580 有关划定设计、设备与管路系统涉及温度和压力应依照 HG/T 20570.1、HG/T 20570.2、HG/T 20570.5、HG/T 20570.6、HG/T 20570.8 有关划定设计、管路仪表流程图应依照 HG/T 20559.1、HG/T 20559.2、HG/T 20559.3、HG/T 20559.4、HG/T 20559.5、HG/T 20559.6、HG/T 20559.7 对乙类可燃液体的有关划定设计。。。。。。。
平板显示用剥离液精馏法再生利用过程中废料网络、贮存、包装、运输应满足 HJ 2025 的划定。。。。。。。
平板显示用剥离液精馏法再生利用过程中危险废料的贮存容器、贮存设施的选址与设计准则、贮存设施的运行和治理、安全防护与检测蹬爪满足 GB 18597 的划定。。。。。。。
精馏法再生技术对有效组分的回收得率应不幼于90％，，，，，，，，残液的排放数量应幼于4倍光刻胶的含量。。。。。。。
应节造系统运行温度在设定温度的±3°C内，，，，，，，，压力在设定压力的±5 mmHg 内。。。。。。。
整个系统建设氮气；；；；；は低。。。。。。。
保障系统真空度、温度满足精馏要求，，，，，，，，冷却水应宜选取7°C低温水冷。。。。。。。
工艺流程
再生工艺流程如下图1所示。。。。。。。


工艺流程技术要求
过滤
剥离液废液经不幼于50主张过滤器过滤，，，，，，，，滤出的固体杂质作为危废交由有资质单元处置。。。。。。。
蒸发
经过过滤的剥离液废液进入蒸发器蒸发，，，，，，，，蒸发的气相再进入一级精馏塔。。。。。。。宜选取列管式蒸发器，，，，，，，，应维持蒸发器液位不低于2/5到1/2液位高度。。。。。。。蒸发器定期排放残液数量应不大于废液中光刻胶含量的3倍。。。。。。。
残液切合前提可持续进入残液蒸发器蒸发，，，，，，，，进一步提高得率。。。。。。。不然作为固废交由有危废处置资质单元处置。。。。。。。
一级精馏
蒸发后的气相进入一级精馏塔，，，，，，，，精馏塔高位槽至2/5到1/2液位时，，，，，，，，打开回流，，，，，，，，在此过程中一级精馏塔液位逐步升高，，，，，，，，逐步加大一级精馏塔再沸器供热量，，，，，，，，在塔釜液位升高至2/3到4/5时，，，，，，，，将塔釜液打至二级精馏塔。。。。。。？？？？？＝谠炀笏温度、压力等工艺参数，，，，，，，，进行减压精馏，，，，，，，，脱除废液中的轻组分(水、低沸点杂质)杂质，，，，，，，，经冷凝网络入高位槽，，，，，，，，进入高位槽的溶液后作为废水处置。。。。。。。一级精馏的温度、压力、回流比区间宜为：50°C～160°C；；；；；100mmHg～140mmHg；；；；；(1～3)：1。。。。。。。
二级精馏
经泵输送至二级精馏塔的塔釜液，，，，，，，，精馏塔塔釜至2/5到1/2液位时，，，，，，，，逐步加大二级精馏塔再沸器供热量，，，，，，，，当精馏塔高位槽至2/5到1/2液位时，，，，，，，，打开回流，，，，，，，，全回流1h，，，，，，，，系统不变运行1幼时后，，，，，，，，打开出料，，，，，，，，节造进料和采出平衡，，，，，，，，精馏过程中严格节造温度、压力、回流比等工艺参数，，，，，，，，经精馏脱除金属离子杂质、极少量的光刻胶和有机物沉组分杂质后，，，，，，，，经冷凝网络得到冷凝液。。。。。。。冷凝液待分析。。。。。。。二级精馏塔塔釜物料凭据温杜爪定期排放残液。。。。。。。二级精馏的温度、压力、回流比区间宜为：120°C～170°C、55mmHg～160mmHg、回流比(2～5)：1。。。。。。。
残液蒸发
蒸发和二级精馏塔塔釜排出的残液(重要组成为：光刻胶、有机组分、金属离子以及水等)，，，，，，，，经检验，，，，，，，，残液中的有机组分≥50％时，，，，，，，，则可进入残液蒸发器持续回收有机组分，，，，，，，，如未达到要求，，，，，，，，则作为固废交由有危废处置资质单元处置。。。。。。。残液蒸发冷凝液作为原料进入剥离液废液储罐，，，，，，，，待下次出产。。。。。。。残液蒸发温度压力领域宜为：160°C～200°C、80mmHg～100mmHg。。。。。。。
分析
按 GB/T 3143、GB/T 6283、GB/T 9722、SJ/T 11637 对二级精馏塔塔顶冷凝液的色度、水分、有机组分含量、金属离子含量进行分析。。。。。。。分析了局切合：色杜爪不大于20度，，，，，，，，水分含量应不大于0.10％，，，，，，，，有效有机组分含量应不幼于99.00％；；；；；金属Li、Na、Mg蹬爪不大于40ug/L，，，，，，，，则为电子级再生剥离液，，，，，，，，泵入电子级再生剥离液储罐。。。。。。。
GB/T 6283-2008 化工产品中水分含量的测定 卡尔·费休法(通用步骤)


京都电子KEM 卡尔·费休法水分测定仪 MKV-710S
http://www.kem-china.com/index.php?_m=mod_product&_a=view&p_id=997