T/CEMIA 032-2022 显示面板用氧化层缓冲刻蚀液

领域
本尺度划定了显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的术语和界说、缩略语、分类、要求、检验步骤、检验规定以及标志、包装、运输、贮存和安全。。。。。
本尺度合用于由氢氟酸水溶液、氟化铵水溶液和表表活性剂混配而成的缓冲氧化物刻蚀液，，，，，利用于显示面板造作中氧化物层的刻蚀和洗濯过程。。。。。

术语和界说
本文件没有必要界定的术语和界说。。。。。

缩略语
下列缩略语合用于本文件。。。。。
BOE刻蚀液：缓冲氧化物刻蚀液。。。。。
PFA：四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物，，，，，又称过氟烷基化物，，，，，可溶性聚四氟乙烯。。。。。

分类
显示面板用BOE刻蚀液凭据显示面板客户使用要求分为Ⅰ级和Ⅱ级。。。。。

要求
表观
无色通明液体。。。。。
重要化学成分
显示面板用BOE刻蚀液的重要化学成分应切合表1的划定。。。。。


表表张力
显示面板用BOE刻蚀液的表表张力指标管控可由供给商与客户协商决定。。。。。
颗粒数
显示面板用BOE刻蚀液的颗粒数应切合表2的划定。。。。。


非金属杂质含量
显示面板用BOE刻蚀液的非金属杂质含量应切合表3的划定。。。。。


金属杂质含量
显示面板用BOE刻蚀液的金属杂质含量应切合表4的划定。。。。。


检验步骤
氢氟酸和氟化铵含量
按 SJ/T 11507-2015 中5.2"氟化铵和氢氟酸含量的测定"的划定进杏祝。。。。
SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲侵蚀液


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