GB/T 28159-2025 电子级磷酸

领域
本文件划定了电子级磷酸的要求、检验规定以及标志、包装、运输、贮存、安全等，，，，，，，并描述了相应的试验步骤。。。。。。。。
本文件合用于半导体集成电路、芯片、显示面板等行业用的电子级磷酸。。。。。。。。

术语和界说
本文件没有必要界定的术语和界说。。。。。。。。

要求
表观
电子级磷酸应为无色通明液体。。。。。。。。
规格
电子级磷酸分为E1级、E2级、E3级共3个等级，，，，，，，其中E1级重要用于显示面板行业、E2级重要用于8寸集成电路行业、E3级重要用于12寸集成电路行业。。。。。。。。
技术要求
电子级磷酸的技术要求应切合表1的划定。。。。。。。。




试验步骤
磷酸质量分数的测定
沉量法(仲裁法)
按 GB 1886.15-2015 中A.4.1划定的步骤进杏祝。。。。。。。

容量法
道理
以百里香酚猷为批示液，，，，，，，用氢氧化钠尺度滴定溶液滴定磷酸，，，，，，，以确定磷酸含量。。。。。。。。
试剂
氢氧化钠尺度滴定溶液：c(NaOH)=0.5mol/L。。。。。。。。
百里香酚酞批示液：1g/L。。。。。。。。
分析步骤
称取约1g试样，，，，，，，精确至0.0002g 。。。。。。。。置于250mL锥形瓶中，，，，，，，加80mL水和5滴百里香酚酞批示液，，，，，，，用氢氧化钠尺度滴定溶液滴定至溶液变为浅蓝色即为终点。。。。。。。。
试验数据的处置
磷酸(H₃PO₄)的质量分数ω₁按公式(1)推算：

式中：
ω₁——磷酸(H₃PO₄)的质量分数，，，，，，，％；；；；；；
c ——氢氧化钠尺度滴定溶液的浓度，，，，，，，单元为摩尔每升(mol/L)；；；；；；
V ——亏损的氢氧化钠尺度滴定溶液的体积，，，，，，，单元为毫升(mL)；；；；；；
m ——试样的质量，，，，，，，单元为克(g)；；；；；；
M ——磷酸的摩尔质量的1/2 ，，，，，，，单元为克每摩尔(g/mol)，，，，，，，[M(1/2 H₃PO₄)=49.00]。。。。。。。。
取平行测定了局的算术均匀值为测定了局，，，，，，，两次平行测定了局的绝对差值不大于0.2%。。。。。。。。
其他注明
凭据企业丈量设备的配置情况，，，，，，，可使用自动电位滴定仪代替手动滴定进行磷酸含量检测。。。。。。。。

密度仪法
道理
本步骤使用U形管振荡法丈量液体密度的道理，，，，，，，重要是使用带有参比丈量池的U形管丈量系统，，，，，，，在经过大气压和湿度建改后仪器内置的空气、水尺度曲线，，，，，，，通过输出高精度密度值找到其对应的磷酸浓度并在密度仪中显示。。。。。。。。
仪器、试剂
密度仪法所用仪器如下。。。。。。。。
a) 密度仪：内置样品温度调节模？？？？？？椤。。。。。。。仪器应满足以下要求。。。。。。。。
——密度正确度：0.00001g/cm³。。。。。。。。
——密度丈量沉复性：0.000005g/cm³。。。。。。。。
——温度丈量正确度：0.01°C。。。。。。。。
大气压丈量分辨率：0.1hPa，，，，，，，精度±1.5%，，，，，，，湿度丈量分辨率：1％。。。。。。。。
——丈量样品粘度并自动进行密度了局的粘度赔偿。。。。。。。。
——拥有丈量池气泡自动查抄职能。。。。。。。。
b) 无水乙醇(作为仪器的洗濯剂)。。。。。。。。
c) 纯水(作为仪器的洗濯剂和仪器查核液)：切合 GB/ T 11446.1 划定的EW-Ⅰ级电子级水。。。。。。。。
分析步骤
仪器查核
仪器查核应每天进行一次，，，，，，， 查核步骤如下：将进样管放入查核液(纯水)中，，，，，，，点击起头按钮，，，，，，，仪器自动吸样、丈量(把稳U形管内不能有任何气泡)，，，，，，，丈量实现后显示查核液的温度、密度等信息。。。。。。。。
将纯水丈量的密度了局与该温度下查核液的尺度值(见表2)比力，，，，，，，若是误差在±0.00005g/cm³以内，，，，，，，则查抄通过，，，，，，，可进行样品测试。。。。。。。。

样品测试
取待测样品至少50mL于100mL烧杯中，，，，，，，将进样管放入待测样品液面以下至少1cm处，，，，，，，点击起头，，，，，，，仪器自动吸样、丈量(把稳U形管内不能有任何气泡)，，，，，，，测试实现后显示待测试样的温度、密度、浓度等信息。。。。。。。。测试实现后用纯水进行洗濯，，，，，，，再用无水乙醇进行洗濯，，，，，，，洗濯实现后进行干燥。。。。。。。。
样品的浓度直接读取仪器显示值。。。。。。。。


京都电子KEM 自动电位滴定仪 AT-710S
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京都电子KEM U形管振荡法密度仪 DA-850
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