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电子级四甲基硅烷 - 水分含量的测定(微量水分测定仪)

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GB/T 46699-2025 电子级四甲基硅烷

领域
本文件划定了半导体行业用电子级四甲基硅烷的技术要求、检验规定、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全忠告的要求，，，，，描述了相应的检测步骤。。。。。
本文件合用于沉积氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的电子级四甲基硅烷，，，，，作为集成电路的刻蚀硬掩层、介电层等职能层；；；；；；；；也合用于高纯电子洗濯剂和尺度试剂的电子级四甲基硅烷。。。。。

术语和界说
本文件没有必要界定的术语和界说。。。。。

技术要求
电子级四甲基硅烷应切合表1的划定。。。。。
表1.jpg

表1续.jpg

检测步骤
水分含量的测定
所用微量水分测定仪应切合 GB/T 26793 划定，，，，，测定步骤应按 GB/T 6324.8 的划定执杏祝。。。。
可选取其他等效的步骤测定四甲基硅烷中水含量。。。。。当测定了局有异议时，，，，，以 GB/T 6324.8 划定的步骤为仲裁步骤。。。。。
GB/T 26793-2011 库仑法微量水分测定仪

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